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残留气体分析仪

点击量:162 2020/5/21 9:37:53

高性能和可操作性的完美平衡

 

Edwards RGA 残余气体分析仪

我们的新型 RGA 有两种型号: PRA WRA,二者操作均简单有效,确保了高性能和高效率

所有 RGA 都配备了专用的、易于使用的软件,可通过笔记本电脑对制程进行实时跟踪,并可对多达 16 台不同的设备进行详细分析。对于那些想快速查看结果的人来说,这些设备都各自配有板载显示屏,无需通过笔记本电脑连接即可显示主要气体类型以及系统的整体压力。

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Edwards PRA 残余气体分析仪

PRA 主要残余气体分析仪

Edwards PRA RGA 实现了高端性能和使用便利的完美平衡。可提供四种型号以满足您的制程需求,无论您只需要基本型号还是需要具有更高灵敏度/范围的产品,PRA 都是分析您制程的完美起点。

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Edwards WRA 残余气体分析仪

WRA 宽量程残余气体分析仪

Edwards WRA RGA 是我们产品线的进阶型号,技术规格在市场上较为领先。可提供 1-200 amu 1-300 amu 两种型号,您可以测量制程中的各种气体/副产品。与 PRA 相比,该产品具有更高的灵敏度,可提高测量精度。